2025年9月19日，中微半导体设备（上海）股份有限公司在广州增城经济技术开发区举行华南总部研发及生产基地项目开工仪式。该项目占地约130亩，一期项目占地约50亩，预计2026年底建成，2027年投产。基地将专注于大平板显示设备研发与生产，并拓展至其他新兴平板微观加工技术领域。中微公司致力于高端半导体设备研发，过去14年年均增长超35%，2025年上半年营业收入49.61亿元，研发投入14.92亿元，同比增长53.70%。项目启动标志着中微公司向多元化布局和高质量发展迈进。

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